一、主要用途：
干膜、湿膜、内层双面或单面曝光。
二、主要系统：
曝光控制、光源、冷却、台面真空、电控等。
三、曝光控制：
采用触摸式控制，全数字化设定操作，能量控制精确。
四、光源系统：
常态点灯方式，并装有动作灵巧的自动遮光器之设置。
五、冷却系统：
光源冷却，采用间接式水冷，冷却方式以蒸馏水置于石英玻璃水套内，经板式热交换器充分进行热交换，使效率发挥致极点，曝光台面采用强制气冷方式，且可控制温度。
六、真空系统：
采用MYLAR薄膜对玻璃配合真空系统之强大吸力，达到紧密配合之高效果。
七、保护措施：
漏电保护，紧急开关，异常讯息警报及显示，水箱之水温过高保护，冷却异常自动熄灭，冷却循环水压力异常自动熄灯等。
八、技术参数：
| 项 目 | 规 格 | 项 目 | 规 格 |
| 电源 | AC 3φ 380V 00A 50HZ | 监控系统 | 自我诊断功能及异常讯息提示 |
| 光源系统 | 7KW卤化金属灯2支 | 曝光量控制 | UV能量积算器 |
| 有效曝光面积 | 850mm×650mm | 照度均匀性 | 85%以上 |
| 曝光框架 | 上层：MYLAR薄膜 下层：强化玻璃 |
灯管寿命 | 800h，30mv/cm2±5% |
| 冷却水源 | 10吨之冷却水塔，2-3kgf/cm2 | 真空装置 | 干式真空泵浦，正常操作下真空压力650mm/hg以上 |
| 台面冷却方式 | 气冷式冷却 | 机台尺寸 | 2700mm×1400mm×1765mm |
| 灯管冷却方式 | 间接式水冷 | 重 量 | 约1000kg |
| 控制方式 | 触摸式人机介面 | ||
