关于半导体制造工艺使用的掩膜技术开发,英特尔和大日本印刷日前宣布,将把现有的合作关系扩展到32nm工艺(HP45)。具体来说就是,将在EUV(Extreme Ultraviolet,远紫外)曝光掩膜技术的开发中进行合作。
2000年以后,英特尔和大日本印刷在180nm到45nm(HP65)半导体制造工艺的掩膜技术开发中进行了合作。根据此次的决定,在保持现有合作关系的同时,将进一步强化未来的合作。 作为现有ArF曝光的下一代技术,在国际半导体技术开发蓝图(ITRS)中十分看好EUV曝光技术。为了实现EUV曝光,英特尔和大日本印刷将通力合作,以便能在适当的时期提供掩膜技术。